Electronique : physique des composants

Les semi-conducteurs : silicium, dopage et jonction PN

Pourquoi un cristal de silicium presque parfait conduit-il si mal, et comment quelques atomes étrangers par million le transforment-ils en composant ? Cinq planches, du cristal à la diode, puis à la lumière et à l'énergie solaire.

Le silicium est l'élément le plus abondant de la croûte terrestre après l'oxygène : c'est le sable. Dans un cristal de silicium, chaque atome est lié à quatre voisins placés aux sommets d'un tétraèdre, et partage avec chacun une paire d'électrons. Cette architecture, la structure diamant, explique presque tout : tous les électrons de valence sont « occupés » dans des liaisons, aucun n'est libre de circuler, et il faut fournir une énergie précise pour en arracher un. Faites tourner la maille ci-dessous : 8 atomes par cube de 5,431 Å de côté.

La maille cubique du silicium (structure diamant), répétée deux fois dans chaque direction. En bleu foncé, les atomes de la maille de base ; les traits sont les liaisons covalentes.
Atomes par maille (comptés sur la figure)
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Atomes par cm³ (8/a³)
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Longueur d'une liaison (mesurée)
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Angle entre deux liaisons (mesuré)
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Angle du tétraèdre arccos(−1/3)
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Planche 1

Des niveaux d'énergie aux bandes

Un atome isolé n'offre à ses électrons que quelques niveaux d'énergie bien séparés. Rapprochez deux atomes : chaque niveau se dédouble, car l'électron peut sauter d'un atome à l'autre. Avec N atomes, chaque niveau devient N niveaux très serrés : une bande. Dans le silicium, la bande du bas (bande de valence, celle des liaisons) est pleine, la bande du haut (bande de conduction) est vide, et entre les deux s'ouvre la bande interdite, large de 1,12 eV : aucun électron ne peut y séjourner. On l'illustre avec un modèle jouet, une chaîne d'atomes à deux niveaux reliés par une énergie de saut t qui grandit quand les atomes se rapprochent.

Ej = E0 − 2t·cos(jπ/(N+1)),   j = 1…N  ·  largeur de bande → 4t  ·  bande interdite = 2Δ − 4t
Niveaux d'énergie d'une chaîne de 1 à 40 atomes, à distance fixée : les niveaux se multiplient et remplissent deux bandes (bleu : valence ; vert : conduction).
Les mêmes bandes selon la distance entre atomes : loin, des niveaux atomiques ; proches, des bandes qui s'élargissent jusqu'à se toucher. Rouge : distance choisie ; pointillé : celle du silicium.
Énergie de saut t
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Largeur de la bande de valence (valeurs propres calculées)
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Largeur par la formule 4t·cos(π/(N+1))
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Écart maximal sur les 2N niveaux
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Bande interdite pour ces N atomes
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Bande interdite du cristal infini
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Planche 2

Le dopage et le niveau de Fermi

La chaleur fait passer quelques électrons de la bande de valence à la bande de conduction ; chacun laisse un trou. Pour maîtriser leur nombre, on dope le cristal : un atome de phosphore (5 électrons de valence) remplace un silicium et cède son électron en trop presque sans effort, 0,045 eV seulement ; c'est un donneur (type N). Un atome de bore (3 électrons) capte un électron du cristal et crée un trou ; c'est un accepteur (type P). Le niveau de Fermi EF résume tout : c'est l'énergie à laquelle un état a une chance sur deux d'être occupé. On le trouve en écrivant que le cristal reste électriquement neutre, puis on compte les porteurs avec la statistique exacte de Fermi-Dirac.

p − n + ND+ − NA− = 0  ·  n = Nc·F1/2((EF−Ec)/kT)  ·  f(E) = 1/(1 + e(E−EF)/kT)
Diagramme des bandes : Ec et Ev (traits pleins), niveaux des donneurs et accepteurs (tirets), niveau de Fermi en rouge, fonction de Fermi à droite. Points bleus : électrons ; cercles rouges : trous ; « + » : donneur ionisé.
Porteurs majoritaires en fonction de 1000/T (le froid à droite). Trois régimes : gel des porteurs, plateau où n ≈ dopage, régime intrinsèque où la chaleur l'emporte. Orange : ni ; pointillé rouge : dopage net.
Niveau de Fermi au-dessus de Ev
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Électrons libres n
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Trous p
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Dopants ionisés
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Résistivité
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Régime
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n·p / ni² (vaut 1 hors dégénérescence)
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Neutralité résiduelle (relative)
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Énergie d'activation mesurée à 20 K
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Planche 3

La jonction PN : une barrière qui se construit toute seule

Accolons une région P (riche en trous) et une région N (riche en électrons). Les électrons diffusent vers P, les trous vers N, et se recombinent près de la frontière. Il reste là des atomes dopants ionisés, fixes et non compensés : des donneurs positifs côté N, des accepteurs négatifs côté P. Cette zone de charge d'espace crée un champ électrique qui repousse les porteurs : l'équilibre s'établit quand la diffusion est exactement compensée. Il en résulte une marche de potentiel, la tension de diffusion Vbi. Le manuel la décrit par l'« approximation de déplétion » (zone parfaitement vide de porteurs) ; ici on résout aussi l'équation de Poisson complète par la méthode de Newton, et l'on compare.

Vbi = (kT/e)·ln(NAND/ni²)  ·  W = √(2ε(Vbi − V)/e · (1/NA + 1/ND))  ·  d²ψ/dx² = −(e/ε)(p − n + ND − NA)
De haut en bas : charge, champ électrique, potentiel. Bleu : solution complète de Poisson ; gris pointillé : approximation de déplétion. Région P à gauche, N à droite.
Diagramme des bandes à travers la jonction : les bandes se courbent de Vbi. En dessous, concentrations d'électrons (bleu) et de trous (rouge) en échelle logarithmique.
Tension de diffusion Vbi
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Largeur W, approximation de déplétion
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Largeur équivalente, Poisson complet
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Largeur, formule corrigée (Vbi − V − 2kT/e)
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Écart Poisson / formule corrigée
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Champ maximal (Poisson)
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Champ maximal, formule corrigée
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Charges + et − de part et d'autre (écart relatif)
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Planche 4

La diode polarisée : pourquoi le courant est exponentiel

En polarisation directe (P positif), on abaisse la barrière de V : un nombre de porteurs multiplié par eV/VT la franchit. Les électrons arrivés côté P y sont minoritaires ; ils diffusent en s'éloignant et finissent par se recombiner avec un trou au bout d'une durée de vie τ, après avoir parcouru en moyenne la longueur de diffusion L = √(Dτ). Le courant est fixé par ce flux de diffusion. En polarisation inverse, la barrière grandit et seul passe un courant minuscule, le courant de saturation. C'est l'équation de Shockley (1949).

I = Is·(eV/VT − 1)  ·  Js = e·ni²·(Dp/(LpND) + Dn/(LnNA))  ·  D·d²Δp/dx² = Δp/τ
Caractéristique courant-tension d'une diode au silicium de 1 mm². Le bouton bascule entre l'échelle linéaire et l'échelle logarithmique, où l'exponentielle devient une droite.
Porteurs minoritaires injectés : électrons dans la région P (à gauche, en unités de Ln), trous dans la région N (à droite, en unités de Lp). Chaque point suit une marche au hasard et disparaît au bout d'une durée de vie aléatoire : leur foule dessine l'exponentielle.
Échelle du courant
Courant de saturation Js
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Courant dans la diode (1 mm²)
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Longueurs de diffusion Ln / Lp
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Courant de trous, diffusion résolue pas à pas
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Courant de trous, formule
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Écart relatif
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Part du courant portée par les trous
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Pente mesurée en direct / VT·ln 10
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Planche 5 · signature

La jonction au travail : la lumière, le soleil, la pureté

La même jonction PN, pensée autrement, donne trois technologies majeures. Quand un électron retombe dans un trou, il peut émettre un photon dont l'énergie vaut la bande interdite : c'est la diode électroluminescente. À l'inverse, un photon absorbé crée une paire électron-trou que le champ de la jonction sépare : c'est la cellule photovoltaïque. Et rien de tout cela ne marche si le cristal n'est pas d'une pureté extrême : moins d'un atome étranger par milliard, obtenue par la fusion de zone.

La couleur d'une DEL est fixée par la bande interdite du matériau : λ = hc/Eg, soit λ (nm) ≈ 1240/Eg (eV). L'agitation thermique répartit les électrons au-dessus du bas de la bande de conduction : le spectre a la forme √(E − Eg)·e−(E−Eg)/kT, avec un maximum en Eg + kT/2 et une largeur d'environ 1,8 kT. Le silicium, à bande interdite « indirecte », n'émet presque pas de lumière : il faut des composés comme l'arséniure de gallium ou le nitrure de gallium-indium (DEL bleue, prix Nobel 2014).

À gauche : recombinaisons dans la jonction, chaque chute d'un électron émettant un photon. À droite : spectre d'émission, coloré selon la longueur d'onde.
Couleur au maximum
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Énergie du maximum (recherche numérique)
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Eg + kT/2 (formule)
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Écart
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Largeur à mi-hauteur
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Largeur / kT
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Une cellule au silicium éclairée se comporte comme une diode à laquelle on ajoute un courant inverse Iph, proportionnel à l'éclairement : I = Iph − I0(eV/VT − 1). Elle débite son courant maximal en court-circuit, et sa tension maximale Vco à vide, mais aucune puissance dans ces deux cas. Entre les deux existe un point de puissance maximale, que les onduleurs recherchent en permanence. On le trouve par une recherche numérique et par une formule exacte faisant intervenir la fonction W de Lambert.

Bleu : courant en fonction de la tension (cellule de 1 cm²). Orange : puissance délivrée. Le rectangle rouge a pour aire la puissance maximale ; son rapport au rectangle Icc×Vco est le facteur de forme.
Courant de court-circuit
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Tension de circuit ouvert
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Tension optimale (section dorée)
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Tension optimale (Lambert W)
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Écart
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Puissance maximale
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Facteur de forme
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Rendement
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Une impureté se dissout mieux dans le silicium liquide que dans le solide : quand le liquide gèle, il n'en garde qu'une fraction k (le coefficient de ségrégation). William Pfann (laboratoires Bell, 1952) en tire la fusion de zone : on fait fondre une étroite tranche du lingot et on la déplace d'un bout à l'autre. La zone liquide entraîne les impuretés vers l'extrémité ; on recommence plusieurs fois, puis on coupe le bout sale. Après un seul passage, la concentration suit la formule de Pfann C(x) = C0·[1 − (1 − k)·e−kx/ℓ].

En haut : le lingot et la zone fondue qui le parcourt. En bas : concentration d'impureté le long du lingot (échelle logarithmique) après chaque passage ; pointillé vert : formule de Pfann pour un passage.
Concentration au début du lingot / C0
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Moyenne sur la première moitié / C0
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Conservation de la matière (écart)
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Écart à Pfann, zone de 20 tranches
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Écart à Pfann, zone de 80 tranches
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Repères historiques

Ce qu'il faut retenir

Des bandes et un trou

Dans un cristal, les niveaux atomiques deviennent des bandes. Un semi-conducteur a une bande de valence pleine, une bande de conduction vide, et une bande interdite assez étroite pour que la chaleur ou la lumière la franchissent.

Le dopage commande

Un atome dopant par million suffit à fixer le nombre de porteurs, et le niveau de Fermi indique d'un coup d'œil qui domine. La loi n·p = ni² relie électrons et trous tant que le cristal n'est pas dégénéré.

La jonction fait le composant

Une jonction PN crée d'elle-même un champ et une barrière. En abaissant celle-ci, on libère un courant exponentiel ; en y faisant entrer ou sortir de la lumière, on obtient une DEL ou une cellule solaire.
Pour aller plus loin : les modèles et les calculs de contrôle

Planche 1. Chaîne linéaire à deux niveaux atomiques ±Δ (Δ = 3 eV), énergie de saut t = t0·e−(a−a0)/λ avec λ = 0,5 Å et t0 choisi pour retrouver 1,12 eV à a0 = 2,35 Å. C'est un modèle jouet : le vrai silicium a une structure de bandes tridimensionnelle et une bande interdite indirecte. Les valeurs propres sont calculées par la méthode des suites de Sturm (dichotomie sur le nombre de valeurs propres sous un seuil), indépendamment de la formule en cosinus.

Planche 2. Densités d'états effectives Nc, Nv proportionnelles à T3/2, bande interdite selon la loi de Varshni, intégrale de Fermi-Dirac F1/2 calculée par la méthode de Simpson après le changement de variable x = u² (qui supprime la racine carrée), dopants à un seul niveau (dégénérescence 2 pour les donneurs, 4 pour les accepteurs), mobilités constantes. Le niveau de Fermi est obtenu par dichotomie sur l'équation de neutralité. L'énergie d'activation est mesurée sur la courbe calculée à 20 et 22 K, après division par T3/4 pour retirer la variation de Nc.

Planche 3. Jonction abrupte en silicium à 300 K, statistique de Boltzmann, quasi-niveaux de Fermi constants dans la zone de charge d'espace. L'équation de Poisson non linéaire est discrétisée sur un maillage plus fin que la longueur de Debye, puis résolue par la méthode de Newton (système tridiagonal, algorithme de Thomas). La correction de 2kT/e vient de la queue des porteurs qui pénètrent dans la zone de charge d'espace : elle n'est visible qu'en comparant avec le calcul complet.

Planche 4. Diode longue, mobilités et durées de vie identiques des deux côtés, pas de recombinaison dans la zone de charge d'espace (qui donnerait un facteur d'idéalité proche de 2 aux faibles courants), pas de forte injection ni de résistance série. Le contrôle résout l'équation de diffusion des trous par différences finies sur dix longueurs de diffusion.

Planche 5. Spectre de DEL du modèle le plus simple (densité d'états en racine carrée et distribution de Boltzmann). Cellule solaire idéale à une diode, I0 ∝ T³·e−Eg/kT normalisé à 10⁻¹² A/cm² à 298 K, photocourant de 35 mA/cm² sous 1000 W/m². Fusion de zone en tranches discrètes avec mélange parfait dans la zone liquide ; l'écart à la formule continue de Pfann diminue quand on affine le découpage.